离子静电消除装置在TFT-LCD的应用
2021-06-27

NO.1 什么是TFT-LCD?

TFT:Thin Film Transistor(薄膜电晶体
LCD:  Liquid Crystal Display(液晶显示器
TFT-LCD面板基本结构为两片玻璃基板中间夹住一层液晶。前端LCD面板贴上彩色滤光片,后端TFT面板上制作薄膜晶体管(TFT) 。由于TFT-LCD具有体积小、重量轻、低辐射、低耗电量、全彩化等优点,已在各类显示器材上广泛应用。




NO.2 TFT-LCD制程工艺


TFT-LCD制程工艺分为三大阶段:

Array制程:在玻璃基板上制造出电路板的制成。要形成可用的薄膜电晶体,需要重复清洗5-7次。

Cell制程:将电晶体玻璃基板与彩色滤光片进行组合,TFT-LED的整个制造过程都必须在无尘室内进行。

Module制程:偏光片贴附完成后,液晶面板两侧搭载DRIVE IC(驱动零件),用来控制液晶颜色及亮度开关。


NO.3 重要角色-ESD(静电放电)

在大规模半导体制造业中,静电放电(ESD)一直扮演着重要角色,尤其对于TFT-LCD制造业和IC制造业,在设计、制造、测试和运送过程中都要考虑ESD的影响。20世纪80年代日本曾对报废的电子产品进行分析,由ESD引起的损失约占1/3,造成良品率下降,影响收益。


在TFT-LCD制程中,摩擦和接触的瞬间可产生约20A的大电流,并且玻璃基板属非导体,不利于静电释放,有源层为非晶硅,属于弱n型半导体,静电累积(ESC)与静电放电(ESD)过程比较容易造成绝缘层击穿,形成短路或造成部分损坏,导致元器件漏电流的增加,形成缺陷,影响良品率。


NO.4 如何去除“重要角色”?

Array制程如何去除静电?


Cell制程如何去除静电?


Module制程如何去除静电?


通过向电极针施加高电压(3kV以上),在电极针的顶端部分进行电晕放电。可将电极针周边存在的空气的电子性质被分解,产生离子,通过将这个离子传导给带电物体,进行静电消除。

轻松解决静电造成的: 



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