一、什么是Mini LED

顾名思义，“Mini”中文名称就是“迷你”的意思。如果说小 间距LED显示屏重在点间距之间的“小”，那么Mini LED自然就是 达到更小的级别，堪称迷你这一级别了。如果我们追本溯源，将 会发现Mini LED这个单词，首先源自于晶电，目前晶电透露出来 最新的有关Mini LED的消息，正是它的“可量产”进程。

Mini LED是在小间距LED基础上，衍生出来的一种新型LED显示 技术，也被称为亚毫米发光二极管，芯片尺寸介于50~200μm之间 的LED器件。

Mini LED克服正装芯片的打线及可靠性的缺陷， 同时结合COB封装的优势，使显示屏点间距进一 步缩小成为可能，对应的终端产品的视觉效果大 幅提升，同时视距能够大幅减小，使得户内显示 屏能够进一步取代原有的LCD市场。

二、真空等离子清洗机在LED行业中的应用

  当我们把固体冰加热时会融化成液体水，水加热会变成水蒸 气，气体加热到一定温度或高压电离时就会变为等离子体。

  电子离开原子核，物质就变成了由带正电的原子核和带负电 的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，这些离子浆中正负电 荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。

  等离子表面处理是通过对气体施加足够的能量使之离化成为 等离子体，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面， 从而实现清洁、改性、刻蚀等目的。

三、真空等离子清洗机的活化过程 ：

放置产品，关上腔门，抽真空。

腔体真空度降至30Pa后，通入工艺气体。

射频/中频电源起辉放电产生等离子体，对产品表面进行清洗活化。

破真空，恢复大气压，打开腔门取出产品，再放置产品，进入无限循环。

四、达因特智能科技在Mini LED行业的解决方案

  晟鼎针对除环氧树脂、除胶设计腔体的方案。

考虑因素一：在真等离子除胶蚀刻中，温度对蚀刻 效率，起到非常关键的作用，所以腔体内材料要耐 高温。 

考虑因素二：不同厂家的Mini LED，因为工艺不同， 耐高温程度不一样，所以腔体可应用通水冷，循环水达到控温的功能。 

考虑因素三：在真空等离子除胶蚀刻的过程中，用到的工艺气体，有氧气、氮气、少量的四氟化碳， 其中氧气，四氟化碳的化学性质，具有氧化性和腐 蚀性，所以腔体材料也要耐氧化，耐腐蚀。 

考虑因素四：Mini LED属于非常精密的产品，所以 对处理效果的均匀性要求也是非常高，通过多方面 的测试验证，结合以往实践经验，设计出一款针对 除胶行业，放电均匀性非常高的真空等离子设备。

五、Mini LED的检验步骤及方法

步骤一：Mini LED过等离子之前，将Mini LED通电，观察Mini LED发光是否明亮，存在阴影面积大小并拍照保存。 （过等离子之前：灯光颜色很暗淡，存在大面积的阴影。）

步骤二：Mini LED过等离子之后，将Mini LED通电，观察Mini LED发光是否明亮，是否存在阴影面积并拍照保存，进行前后对 比。（过等离子之后：灯光颜色很明亮，不存在阴影的面积。）

步骤二：Mini LED过等离子之后，将Mini LED通电，观察Mini LED发光是否明亮，是否存在阴影面积并拍照保存，进行前后对 比。（过等离子之后：灯光颜色很明亮，不存在阴影的面积。）

步骤四：Mini LED板过等离子之后，根据之前的定点，在显微 镜下观察Mini LED表面环氧树脂清除情况的情况并截图，进行 前后对比。 （过等离子之后：Mini LED芯片均己裸露，无一例外。）

晟鼎针对Mini LED典型案例

群创光电  客户需求80A/S的除胶速率， 晟鼎设备在此基础提升 278.75%。

鸿利光电 客户需要在60分钟以内， 除去Mini LED表面的环氧 树脂，晟鼎设备在40分钟

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