在等离子清洗过程中，等离子体与材料表面发生化学反应后，会生成气体或挥发性物质，这些物质可以通过真空系统及中和器直接排放到大气中，不会对环境和人体健康造成影响。同时，等离子清洗还可以在不破坏材料表面的情况下，实现高效、快速的清洗。

等离子清洗机和传统湿法清洗的主要区别体现在以下几个方面：

1、清洗过程控制：等离子清洗时间对工艺较为灵敏，而传统湿法清洗通常受限于清洗液的性质。等离子清洗工艺过程更容易控制，而湿法清洗的清洗效果受清洗液的浓度、温度、时间等因素影响。

2、清洗效果：等离子清洗在去除油污及氧化物等工艺时，只需要一次清洗，基本无残留物。相比之下，湿法化学清洗可能需要进一步去除及处理或多次清洗，且清洗后可能存在一定的残留物。

3、环保性：湿法化学清洗使用的有机溶剂对人体有害，且清洗后的残余物可能对环境造成污染。而等离子清洗反应副产物为气体，通过真空系统及中和器可直接排放到大气中，对环境和人体健康的影响较小。

4、适用性：等离子清洗可以处理各种材质，包括金属、半导体、氧化物、高分子材料等，特别适合不耐热以及不耐溶剂的材质。而湿法化学清洗在材质方面存在一定的限制。

5、干燥处理：湿法化学清洗后产品往往都是湿的，需要干燥处理才能进入下一道工序。而等离子清洗后的产品是干燥的，可以减少一道工序，缩短生产时间。

6、效率与适用性：湿法化学清洗通常效率较低，且可能存在无法全面清洗不规则形状产品的问题。而等离子清洗不仅效率高，而且可以全方位清洗各种形状的产品。此外，等离子清洗还可以处理各种材质，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料，都适用。