真空等离子处理,达因特真空等离子清洗机 SPV-150 技术规格
2021-06-09

真空等离子处理,真空等离子清洗机 SPV-150 技术规格,等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。



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(实际外观以出厂的为准)

(1)产品简述

(1.1)等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是:

(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但

清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细

坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

(B)激活键能,交联作用

等离子体中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的键能在 0~10eV,因此等离子体作

用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键

形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

(C)形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的

官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。


(1.2)产品原理

等离子清洗机的结构主要分为五大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气

体系统、以及真空泵系统。

(A) 控制系统:

控制系统:触摸屏+PLC

(B) 激励电源系统:

电源:13.56MHz 的射频激励电源,

(C) 真空腔体:

铝合金腔体,

(D) 工艺气体系统:

工艺气体:氩氢混合气

(E) 真空泵:油泵主要采用双级旋片油泵


(2.1)技术参数


美国 CERES 射频电源,13.56MHz


电源系统

功率 0~600W 可调;





美国 CERES 全自动真空电容匹配器






德国天津莱宝,TRIVAC 60T


真空系统

真空计:日本英福康皮拉尼真空计





真空管路:全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管






铝合金真空腔体,军工级焊接密封,25mm 厚度


腔体系统

腔体内部尺寸:450×450×500mm(宽×高×深)



电极板布置方式:独特竖电极板,可活动抽取



空间层数:3 竖隔






气压阀,日本 SMC


气体系统

流量计,浮子流量计,0~300SCCM



一路工艺气体:氩氢混合气体






PLC,德国西门子 S 系列


控制系统

触摸屏,威纶通,七寸屏幕



电气部件:德国施耐德品牌






外形尺寸:约 890×1745×1000mm(宽×高×深)


其它参数

重量:400KG



颜色:银灰色






(2.2)尺寸参数

(2.3)配置清单

配置清单

名称

描述说明

单位

数量







真空腔体

铝合金真空腔体,尺寸:450×450×500mm(宽×高×深)

1







射频电源

美国 CERES 射频电源,13.56MHz

1


功率 0~600W 可调











电源匹配器

美国 CERES 全自动真空电容匹配器

1







PLC

德国西门子,S7-200

1







触摸屏

威纶通,MT6071iE

1







流量计

氩氢混合气

1







真空泵组

德国天津莱宝,TRIVAC 60T

1








真空计

日本皮拉尼,PSG

1





真空电磁阀

日本 SMC,VQD

1





说明书

真空等离子清洗机 SPV-100 操作说明书

1





(3)安装、调试、保养

(3.1).装卸要求:需提供插车;

(3.2)安装环境要求:

A.三相 380V 的,五线(三根火线、一根零线、一根地线)供电电源,功率 5000W,4 平方线;

B.气体,氩氢混合气;

C.无水无油的压缩空气。

(3.3)安装及调试过程需协助;如提供测试样品及测试要求等。

(3.4)调试期限:1 天

(3.5)效果验证:采用接触角测试,对处理后的样品进行量化评估,确保效果

和均匀性及稳定性。

(3.6)保养:

A.为了更好的延续设备的使用寿命,我们的真空设备需要定期保养,保养周

期:3 个月。

B.保养明细:

真空等离子设备保养表


项目





1

检查抽空时间是否超标






2

检查密封圈是否有裂痕






3

检查视窗玻璃螺丝是否需紧固






4

检查电极板插针是否需更换






5

检查设备放电是否正常






6

检查腔门感应开关接触是否良好






7

更换过滤器滤芯






8

更换真空泵油






9

检查真空泵密封







10

检查回油装置是否正常






11

清理泵体油污






(4)耗材清单

序号

易损件名称

单位

备注


数量


1

更换泵油

L

5







3 个月更换一次


2

更换滤芯

1










3

工业气体

1

一般使用一路气体





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