等离子清洗机处理粉体材料-达因特自主研发滚轮式腔体
2022-06-11

等离子清洗机处理粉体材料,可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。


真空等离子清洗机 SPV60 技术规格书(滚轮式腔体方案)



滚轮腔体等离子清洗机.jpg

 

真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。 与传统的一些清洗方法,如超声波清洗、UV 清洗等,具有以下优点:

(A)处理温度低

处理温度可以低至 80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

(B)处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备,不产生任何污染,处理过程也不产生任何污染。

(C)处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

(D)可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。


等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成:控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

(A)控制系统: 控制系统的功能在于控制整个设备的运行,包括人机界面(触摸屏)、PLC、电气电路。采 用全自动控制系统的真空等离子清洗,可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制,满足 不同客户的需求。

(B)激励电源系统:

激励电源主要有三类:40KHz 的中频激励电源,13.56MHz 的射频激励电源,2.45GHz 的 微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

(C)真空腔体: 真空腔体主要是分为三种材质的:1)铝合金腔体,2)不锈钢真空腔体,3)石英腔体。根 据用户的不同需求,可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

工艺气体包括流量计、气压阀等,用户可灵活选择多路的工艺气体方案,氩气、氧气、氢气、

氮气、四氟化碳等,可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

(E)真空泵: 真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵,油泵主要采用双级旋片泵,根据用户所采用的腔体体积、 工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。


滚轮式腔体技术参数

电源系统

定制射频电源:频率 13.56MHz;功率 0~500W 可调;

全自动真空电容匹配器

真空系统

定制双级旋片泵(油泵):60m3/h, 真空计:日本英福康皮拉尼真空计

真空管路:全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管

腔体系统

(定制)

铝合金真空腔体,军工级焊接密封,25mm 厚度 滚筒为不锈钢材质 腔体内部尺寸:375mm(宽)×375mm(高)×425mm(深), 即 60L

滚筒尺寸:297mm(直径)×350mm(高),即 48L

气体系统

气压阀,日本 SMC

流量计,七星华创品牌,0~300SCCM

两路工艺气体:氩气、氧气

控制系统

PLC,德国西门子 S 系列 触摸屏,威纶通,七寸屏幕

电气部件:德国施耐德品牌

其它参数

外形尺寸:790mm(宽)×1639mm(高)×894mm(深) 重量:400KG

颜色:银灰色


滚轮式腔体尺寸参数


粉体等离子清洗机2.jpg

粉体等离子清洗机1.jpg


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